Method for Manufacturing Humidity Sensor by using Porous Silicon Layer and Sensor Manufactured by it,申请号KR20040069905-传众专利搜索

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发明名称	Method for Manufacturing Humidity Sensor by using Porous Silicon Layer and Sensor Manufactured by it
摘要
申请公布号	KR100655888(B1)	申请公布日期	2006.12.11
申请号	KR20040069905	申请日期	2004.09.02
申请人		发明人
分类号	G01N27/12	主分类号	G01N27/12
代理机构		代理人
主权项
地址

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