薄膜压电共振器、滤波器以及电压控制振荡器

摘要

一种薄膜压电共振器包括衬底以及第一和第二激发部分。所述衬底包括第一和第二腔。所述第一激发部分设置在所述第一腔上，并包括依次层压的第一电极、第一压电材料以及第二电极。在所述第一电极、所述第一压电材料以及所述第二电极间的交叠区域限定所述第一激发部分的周边的轮廓。第一距离定义为从所述第一激发部分的端部到所述第一腔的开口端部的距离。所述第二激发部分设置在所述第二腔上，并包括依次层压的第三电极、第二压电材料以及第四电极。第二距离定义为从所述第二激发部分的端部到所述第二腔的开口端部的距离，并与所述第一距离不同。

主权项

1.一种薄膜压电共振器，包括：衬底，包括相互隔离设置的第一腔和第二腔；第一激发部分，设置在所述第一腔上，所述第一激发部分包括依次层压的第一电极、第一压电材料以及第二电极，在所述第一电极、所述第一压电材料以及所述第二电极间的交叠区域限定所述第一激发部分的周边的轮廓，第一距离定义为从所述第一激发部分的端部到所述第一腔的开口端部的距离；以及第二激发部分，设置在所述第二腔上，所述第二激发部分包括依次层压的第三电极、第二压电材料以及第四电极，在所述第三电极、所述第二压电材料以及所述第四电极间的交叠区域限定所述第二激发部分的周边的轮廓，第二距离定义为从所述第二激发部分的端部到所述第二腔的开口端部的距离，所述第二距离与所述第一距离不同。