一种多功能连续镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种多功能连续镀膜装置，由真空镀膜单元装置、泵抽系统、气路及控制系统组成，所述的真空镀膜单元装置包括一真空镀膜室，其下方布控有电子枪、热蒸发电极，下侧方设立一对磁控溅射靶；还配有一基带卷绕系统，该基带卷绕系统由分置在真空镀膜室两侧的放带室、收带室构成。它还配有机架，真空镀膜单元装置固定在其上，泵抽系统安置在其内；机架的两侧有用于活性固定放带室、收带室的小支架台。所述的真空室内装有样品挡板、电子枪挡板、热蒸发舟挡板和靶挡板。在电子枪与热蒸发舟之间、热蒸发舟与热蒸发舟之间均设有固定挡板。本装置可用于在长带上开发多种材料多层膜。

主权项

1、一种多功能连续镀膜装置，由真空镀膜单元装置、泵抽系统、各气路接入真空镀膜室的气路控制系统和控制各单元装置电源开关的电控系统组成，其特征在于：所述的真空镀膜单元装置包括一真空镀膜室，其下方布控有电子枪、热蒸发电极，下侧方设立一对磁控溅射靶；还配有一基带卷绕系统，该基带卷绕系统由分置在真空镀膜室两侧的放带室、收带室构成。