| 发明名称 | 抗反射涂层及其设计方法 | ||
| 摘要 | 一种抗反射涂层，形成在一底层与一光阻层之间，其特征在于抗反射涂层的折射值n值是一固定值且消光系数k值呈梯度向底层增加。因此，只要控制k值就可以在不同的底层上得到趋近于零的基底反射率。 | ||
| 申请公布号 | TW200641992 | 申请公布日期 | 2006.12.01 |
| 申请号 | TW094116257 | 申请日期 | 2005.05.19 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 黄俊清 |
| 分类号 | H01L21/31(2006.01);G03F7/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/31(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行路16号 | ||