用以产生线焦点之光学系统,用以产生扫瞄光束焦点之扫瞄系统,及用于基底之雷射处理的方法

摘要

一种用以自输入光束产生线焦点之光学系统包含一光源，其发射于传导方向中传导之该输入光束，该输入光束具有于与该传导方向横向之第一维中之延伸以及于与该第一维和与该传导方向横向之第二维中的延伸，以及于该第二维中弯曲之至少一第一镜子，使该输入光束于该第二维中聚焦至该线焦点。