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发明名称 ZWEISCHICHT-HARTMASK ZUM ÄTZVERFAHREN EINES EDRAM-GATES
摘要
申请公布号 DE60215513(D1) 申请公布日期 2006.11.30
申请号 DE20026015513 申请日期 2002.08.06
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.;INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 DOBUZINSKY, MARK;KHAN, ALI;LIU, C.;WENSLEY, PAUL;YU, CHIENFAN
分类号 H01L21/8242;H01L21/3213;H01L21/60;H01L21/8234 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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