发明名称 COMPOSITION FOR STRIPPING PHOTORESIST AND ORGANIC MATERIALS FROM SUBSTRATE SURFACES
摘要
申请公布号 EP1097405(B1) 申请公布日期 2006.11.29
申请号 EP19990931215 申请日期 1999.06.30
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 OBERLANDER, JOSEPH, E.;SLEZAK, MARK, S.;KHANNA, DINESH, N.;DURHAM, DANA, L.;SPINICELLI, LAWRENCE
分类号 H01L21/304;G03F7/42 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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