发明名称 PROCESS FOR LOW TEMPERATURE CVD USING BI CARBOXYLATES
摘要
申请公布号 KR100651290(B1) 申请公布日期 2006.11.28
申请号 KR19997007026 申请日期 1999.08.04
申请人 发明人
分类号 C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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