| 主权项 |
1.一种加速度感知装置,具有:位于中央的质量部;及支撑框,与该质量部隔有一定距离的方式包围质量部;及复数可挠腕,供连结质量部上面及支撑框上面用;及加速度感知器晶片,各别在复数可挠腕的上面各别形成于质量部附近及支撑框附近,具有供测量加速度的各轴成分用的压电电阻元件;及上部规制板,在质量部上面之间具有预定的间隙且覆盖加速度感知器晶片上面设置并且藉由接合材被接合固定于支撑框,由在上面IC形成有电路的矽基板构成;及保护壳,在内部收容了将该上部规制板安装于上面的加速度感知器晶片;且前述上部规制板是设成比支撑框外周大,从支撑框的外壁的至少1个突出并覆盖支撑框上。2.如申请专利范围第1项的加速度感知装置,其中,支撑框,是藉由导体连接前述压电电阻元件,并且使具有与上部规制板上的处理电路端子连接的复数端子的端子板设在1个侧面,使上部规制板,是从设有端子板的侧面以外的支撑框的全部的外壁突出。3.如申请专利范围第2项的加速度感知装置,其中,保护壳内壁及从上部规制板的支撑框外壁突出的侧边的间隙,是使保护壳内壁及支撑框外壁的间隙对比为0.1-0.8。4.如申请专利范围第3项的加速度感知装置,其中,上部规制板是藉由接合材被接合固定于加速度感知器晶片的支撑框的4个角落,温度感知器是设在上部规制板上的对应于该4个角落的其中1个的位置。图式简单说明:[第1图]是本发明的实施例1的加速度感知装置的分解立体图。[第2图]是使用于实施例1的加速度感知装置的加速度感知器晶片的立体图。[第3图]是使用于实施例1的加速度感知装置,安装有上部规制板的加速度感知器晶片的立体图。[第4图]是第1图的IV-IV线的剖面图。[第5图]是显示去除了盖的实施例1的加速度感知装置的平面图。[第6图]是显示偏移电压及间隙比的关系的图表。[第7图]是供说明温度感知器的位置用的图。[第8图]是显示偏移电压及温度感知器的位置的关系的图表。[第9图]是显示衰减时间及间隙比的关系的图表。 |
