| 主权项 |
1.一种基板搬送用托盘,其水平载置基板并且可堆积复数个,其特征在于:上述基板搬送用托盘于堆积复数个时,含有配置于上述基板搬送用托盘之上方之与基板搬送用托盘接触之上方接触部,以及配置于下方之与基板搬送用托盘接触之下方接触部;上述上方接触部及上述下方接触部之形状以下述方式形成:将其他之基板搬送用托盘载置于上述基板搬送用托盘之上方时,于上述其他之基板搬送用托盘之重心配置于上述基板搬送用托盘之重心之垂直上方的方向移动上述其他之基板搬送用托盘。2.一种基板搬送用托盘,其装载基板并且可堆积复数个,其特征在于:上述基板搬送用托盘于堆积复数个时,含有载置于上述基板搬送用托盘之上方之与基板搬送用托盘接触之上方接触部,以及载置于下方之与基板搬送用托盘接触之下方接触部;上述上方接触部含有以朝向基板搬送用托盘之内侧之方向或朝向基板搬送用托盘之外侧之方向变低之方式倾斜的上方倾斜部;上述下方接触部含有倾斜于与上述上方倾斜部之倾斜方向相同方向之下方倾斜部。3.如请求项2之基板搬送用托盘,其中上述上方接触部及上述下方接触部配置于基板搬送用托盘之周边。4.如请求项2或3之基板搬送用托盘,其中上述上方倾斜部形成于上述上方接触部之上面全体,上述下方倾斜部形成于下方接触部之下面全体。5.如请求项2或3之基板搬送用托盘,其中上述上方倾斜部配置于包含上述上方接触部之上面之外侧或内侧之任何一方端之部位;上述下方倾斜部形成于包含上述下方接触部中,对应于配置有上述上方倾斜部之端的部位。6.如请求项2或3之基板搬送用托盘,其中上述上方倾斜部及上述下方倾斜部之一方或双方系平面状之倾斜。7.如请求项2或3之基板搬送用托盘,其中上述上方倾斜部及上述下方倾斜部之一方或双方系越朝向下方倾斜度越缓和之曲面状之倾斜。8.如请求项2或3之基板搬送用托盘,其中上述上方倾斜部与上述下方倾斜部之形状于分别抵接之部分系叠合。9.如请求项3之基板搬送用托盘,其中上述上方接触部及上述下方接触部系与用以扣合于夹盘之突起不同之部分,该夹盘系用以抓住托盘。10.如请求项3之基板搬送用托盘,其中上述托盘自周边之外周面朝向外侧突出形成有用以扣合于夹盘之突起,该夹盘系用以抓住该托盘,且上述外周面于水平配置上述托盘时于铅直方向形成为平面状;上述上方接触部及上述下方接触部比上述外周面形成于内侧。图式简单说明:图1(a)及图1(b)系表示本发明之实施形态者,图1(a)系概略性表示基板搬送用托盘之构成之剖面立体图,图1(b)系概略性表示于水平放置基板搬送用托盘之状态下自垂直上方看之构成的平面图。图2系概略性表示堆积基板搬送用托盘之构成之剖面图。图3系概略性表示堆积基板搬送用托盘之构成之剖面图。图4系概略性表示堆积基板搬送用托盘并以基板搬送用托盘搬运装置搬运之样子的剖面图。图5系概略性表示堆积基板搬送用托盘并以基板搬送用托盘搬运装置搬运之样子的剖面图。图6系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图7系表示基板搬送用托盘之主要部分构成之概略性剖面图。图8系表示基板搬送用托盘之主要部分构成之概略性剖面图。图9系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图10系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图11系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图12系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图13系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图14系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图15系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图16系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图17系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图18系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图19系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图20系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图21系概略性表示基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图22系概略性表示作为比较之基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图23系概略性表示作为比较之基板搬送用托盘之主要部分构成之剖面图。图24系概略性表示堆积作为比较之基板搬送用托盘之构成之剖面图。图25系概略性表示堆积作为比较之基板搬送用托盘之构成之剖面图。图26系概略性表示堆积作为比较之基板搬送用托盘并以基板搬送用托盘搬运装置搬运之样子的剖面图。图27系表示先前技术者,系概略性表示用以放入基板并运输之包装材料之主要部分构成的立体图。 |
