发明名称 应用导线架之积体电路元件切割方法
摘要 本发明系一种应用导线架之积体电路元件切割方法,系应用于导线架黏着多数晶片,并以胶体封固该些晶片,而构成一个具有至少一元件群聚体之半成品后,用以将该半成品切割成多数个各具有至少一晶片之积体电路元件者,其步骤包括将该半成品予以定位,续施以去除导线架未被胶体包覆部份之预切步骤,再以切割手段依预定的切割路径,将该元件群聚体切割成各包括有晶片的积体电路元件,藉此利用该切割方式之安排,以及切割在包含有胶体之导线架上可减少铜屑附着之设计,使其可以提高切割速度,提升产能。
申请公布号 TWI267122 申请公布日期 2006.11.21
申请号 TW094123318 申请日期 2005.07.11
申请人 台湾典范半导体股份有限公司 发明人 蔡敏郎;吴良泰
分类号 H01L21/02(2006.01) 主分类号 H01L21/02(2006.01)
代理机构 代理人 林镒珠 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 1.一种应用导线架之积体电路元件切割方法,系应用于导线架黏着多数晶片,以胶体封固该些晶片后,构成一个具有至少一元件群聚体之半成品后,将该半成品切割成多数个各具有至少一晶片之积体电路元件者,其步骤包括:一将该半成品予以定位之步骤;一去除导线架未被胶体包覆部份之预切步骤,系成形加工手段切除半成品之导线架未被胶体包覆之边框,保留该元件群聚体;以及一切割成形步骤,系以切割手段依预定的切割路径,将该元件群聚体切割成各包括有晶片的积体电路元件。2.如申请专利范围第1项所述之应用导线架之积体电路元件切割方法,其中,将该半成品于定位时,系以真空吸附手段令该半成品固定于承载台上。3.如申请专利范围第1或2项所述之应用导线架之积体电路元件切割方法,其中,该预切手段是使用切割加工方式。图式简单说明:第一图系本发明应用导线架之积体电路元件切割方法之流程图。第二-四图系本发明切割方法各步骤之实施状态参考图。第五图系目前具有导线架之积体电路元件于切割制程之平面示意图。
地址 高雄市高雄加工区南三路2号