发明名称 双极性电晶体及其制造方法
摘要 本发明提供一种双极性电晶体,其具有整合于一标准互补金氧半导体(CMOS)浅壕沟隔离区的一壕沟(4,44)中的一降低之集极串联电阻。该双极性电晶体包括以一制造步骤所制作的一集极区(6,34),因此具有一较短之传导路径和一降低之集极串联电阻,进而改良该双极性电晶体的高频效能。该双极性电晶体进一步包括一基极区(8,22,38),其具有位在壕沟(4,44)底部上之集极区(6,34)其一选定部分的一第一部分,及在基极区(8,22,38)之第一部分其一选定部分上的一射极区(10,24,39)。一基极接头(11,26,51)在一绝缘区(2,42)上之基极区(8,22,38)的一第二部分电子接触基极区(8,22,38)。集极区(6,34)在一隆起(5,45)之顶部与一集极接头(13,25,50)电子接触。
申请公布号 TW200639944 申请公布日期 2006.11.16
申请号 TW095101514 申请日期 2006.01.13
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 乔翰尼斯 约瑟夫斯 席尔夺斯 玛莉安纳斯 东克斯;DONKERS, JOHANNES JOSEPHUS THEODORUS MARINUS;伟伯 丹尼尔 凡 诺特;飞利浦 慕尼尔贝乐德;舍贝斯提恩 努汀克;艾尔文 希吉山;法兰寇伊斯 纽利
分类号 H01L21/328(2006.01) 主分类号 H01L21/328(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 荷兰