| 发明名称 | 除光阻层的组合物及其使用方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种除光阻层的组合物及其使用方法，该组合物包括化学部分，该化学部分包括溶解或软化光阻层的化学成分和水；还包括机械部分，该机械部分为研磨颗粒。使用本发明的组合物和采用本发明的使用方法可以将已有的光阻层去除清洁工艺从两步减至一步，工艺得到简化、清洁工艺时间得到缩短、成本得到降低；本发明的组合物中化学成分的毒性小、可燃性小、使用量小，其与环境更加友善，并且减少化学废物处理的费用。 | ||
| 申请公布号 | CN1862391A | 申请公布日期 | 2006.11.15 |
| 申请号 | CN200510025821.1 | 申请日期 | 2005.05.13 |
| 申请人 | 安集微电子（上海）有限公司 | 发明人 | 王淑敏;俞昌 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01) | 主分类号 | G03F7/42(2006.01) |
| 代理机构 | 上海虹桥正瀚律师事务所 | 代理人 | 李佳铭 |
| 主权项 | 1、一种除光阻层的组合物，其包括化学部分，该化学部分包括溶解或软化光阻层的化学成分和水；其特征在于还包括机械部分，该机械部分为研磨颗粒。 | ||
| 地址 | 201203上海市龙东大道3000号5号楼613－618 | ||