发明名称 IMAGING CHARACTERISTICS MEASURING METHOD, IMAGING CHARACTERIATICS ADJUSTING METHOD, EXPOSURE METHOD AND SYSTEM, PROGRAM AND RECORDING MEDIUM, AND DEVICE PRODUCING METHOD
摘要
申请公布号 EP1355140(A4) 申请公布日期 2006.11.15
申请号 EP20010272906 申请日期 2001.12.27
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 TSUKAKOSHI, TOSHIO
分类号 G02B7/02;G01J9/00;G02B27/00;G03F7/20 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
主权项
地址