摘要 |
Es ist ein Transportsystem für ein scheibenförmiges Objekt und ein System zur Inspektion eines scheibenförmigen Objekts offenbart. Das Transportsystem umfasst ein erstes Element (10) und ein zweites Element (20), die derart angeordnet sind, dass zwischen dem ersten Element (10) und dem zweiten Element (20) ein Zwischenraum ausgebildet ist. Das erste Element (10) besitzt eine auf den Zwischenraum hinweisende Oberfläche (10a) und das zweite Element (20) besitzt eine auf den Zwischenraum hinweisende Oberfläche (20a). In den beiden Oberflächen (10a, 20a) ist eine Vielzahl von Öffnungen (24) ausgebildet, durch die Luft unter Druck austritt, um dadurch das scheibenförmige Objekt (11) in dem Zwischenraum (30) frei schwebend zu halten.
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