发明名称 Transportsystem für ein scheibenförmiges Objekt und System zur Inspektion eines scheibenförmigen Objekts
摘要 Es ist ein Transportsystem für ein scheibenförmiges Objekt und ein System zur Inspektion eines scheibenförmigen Objekts offenbart. Das Transportsystem umfasst ein erstes Element (10) und ein zweites Element (20), die derart angeordnet sind, dass zwischen dem ersten Element (10) und dem zweiten Element (20) ein Zwischenraum ausgebildet ist. Das erste Element (10) besitzt eine auf den Zwischenraum hinweisende Oberfläche (10a) und das zweite Element (20) besitzt eine auf den Zwischenraum hinweisende Oberfläche (20a). In den beiden Oberflächen (10a, 20a) ist eine Vielzahl von Öffnungen (24) ausgebildet, durch die Luft unter Druck austritt, um dadurch das scheibenförmige Objekt (11) in dem Zwischenraum (30) frei schwebend zu halten.
申请公布号 DE102005019330(A1) 申请公布日期 2006.11.09
申请号 DE200510019330 申请日期 2005.04.26
申请人 LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH 发明人 KRIEG, THOMAS
分类号 B65G47/22;B65G49/05;H01L21/673;H01L21/68 主分类号 B65G47/22
代理机构 代理人
主权项
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