| 发明名称 | 利用间歇前驱气流工艺形成金属层的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种利用间歇前驱气流工艺在衬底上形成金属层的方法。该方法包括使衬底暴露于还原气中，同时使衬底暴露于金属－羰基前驱气脉冲中。该工艺进行到在衬底上形成期望厚度的金属层。该金属层可以形成在衬底上，或者该金属层可以形成在金属成核层上。 | ||
| 申请公布号 | CN1860587A | 申请公布日期 | 2006.11.08 |
| 申请号 | CN200480028497.2 | 申请日期 | 2004.09.07 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社;国际商业机器公司 | 发明人 | 山崎英亮;松田司;五味淳;波多野达夫;立花光博;松泽兴明;河野有美子;格特·J·莱乌辛克;芬顿·R·麦克非利;桑德拉·G·马尔霍特拉;安德鲁·H·西蒙;约翰·J·尤尔坎斯 |
| 分类号 | H01L21/285(2006.01);C23C16/16(2006.01);H01L21/768(2006.01) | 主分类号 | H01L21/285(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王怡 |
| 主权项 | 1.一种在衬底上形成金属层的方法，所述方法包括：将衬底提供到处理室中；使所述衬底暴露于还原气中；使所述衬底暴露于一个金属-羰基前驱体脉冲中，从而在所述衬底上形成金属层；以及重复这些暴露工艺，直至形成期望厚度的金属层。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||