板状物支撑部件及其使用方法

摘要

一种板状物支撑部件及其使用方法，即使是通过研磨变薄的刚性降低的板状物，也可以不变更研磨装置的构造而顺畅地进行在研磨装置内的搬送及向盒内的收纳。使用至少由支撑板状物的板状物支撑区域11、固定机架15的机架固定区域13构成的板状物支撑部件10，通过保护胶带16支撑与机架15成为一体的板状物W，在将其吸引保持在研磨装置的卡盘台25上进行研磨的同时，在研磨装置内的半导体晶片的搬送以及向盒内的收纳也以通过板状物支撑部件10被支撑的状态进行。

主权项

1.一种板状物保持方法，其特征在于，包括以下工序：将粘贴保护胶带的外周粘贴到机架上的工序，将该板状物粘贴到该粘贴保护胶带上的工序，在具有板状物支撑区域的支撑部件上固定该机架，据此使板状物支撑在该板状物支撑区域的同时，使该粘贴保护胶带位于板状物与板状物支撑区域之间的工序，将支撑板状物的该支撑部件放置在卡盘台上的工序，使用研磨机构对卡盘台上的通过该支撑部件支撑的板状物进行研磨的工序，在研磨完成后将支撑在该支撑部件上的板状物从该卡盘台卸下的工序，在该取下工序后，将支撑在该支撑部件上的板状物从该卡盘台搬出的工序。