发明名称 MIKROGEFERTIGTER VIBRATIONSDREHGESCHWINDIGKEITSKREISEL
摘要 <p>A microfabricated gyroscope to measure rotation about an axis parallel to the surface of the substrate. A voltage differential may be applied between pairs of electrode fingers to reduce the quadrature error. A microfabricated gyroscope includes a vibratory structure and interdigited electrodes having a high aspect ratio.</p>
申请公布号 DE69735759(T2) 申请公布日期 2006.11.02
申请号 DE1997635759T 申请日期 1997.05.30
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 发明人 CLARK, A.;JUNEAU, THOR;HOWE, T.
分类号 G01C19/00;G01C19/5719 主分类号 G01C19/00
代理机构 代理人
主权项
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