| 主权项 |
1.一种固体摄影元件检查系统,包括:DUT板,与检查对象固体摄影元件电性连接;光源,用以照射检查对象固体摄影元件;检查装置,将该检查对象固体摄影元件与DUT板及光源以既定的检查程式驱动;影像处理装置,透过网路与该检查装置连接,施行影像处理以检查由DUT板输出之检查对象固体摄影元件的影像资料;测试系统伺服器,透过网路与该检查装置及影像处理装置连接,并将对应于检查对象固体摄影元件之既定检查程式供给至该等检查装置及影像处理装置;及监视器,透过网路与该检查装置、影像处理装置及测试系统伺服器连接,并显示各部的资料。2.如申请专利范围第1项之固体摄影元件检查系统,其中,该检查对象固体摄影元件为形成有复数固体摄影元件晶片的晶圆。3.如申请专利范围第2项之固体摄影元件检查系统,其中,该影像处理装置包括复数系统,可以对于该复数之固体摄影元件晶片的影像资料同时平行且个别地进行影像处理。4.如申请专利范围第3项之固体摄影元件检查系统,其中,该复数系统之影像处理装置系以专用的网路相连接。5.如申请专利范围第1项之固体摄影元件检查系统,其中,该DUT板具有影像资料编辑部,可对该复数之固体摄影元件晶片的影像资料逐一晶片进行编辑并输出。6.如申请专利范围第1项之固体摄影元件检查系统,其中,该连接该检查装置、影像处理装置、测试系统伺服器,及监视器的网路为泛用网路。7.如申请专利范围第6项之固体摄影元件检查系统,其中,该泛用网路系连接于利用检查结果之泛用个人电脑。8.如申请专利范围第7项之固体摄影元件检查系统,其中,藉由该泛用个人电脑利用检查结果,以实施验证、评价、开发等之至少任一者。图式简单说明:图1显示本发明之一实施例的方块图;图2为说明固体摄影元件与检查固体摄影元件是否良好之检查方法的概念构成图;图3显示习知之固体摄影元件检查装置的一例的方块图。 |
