真空以及真空破坏用复合阀

摘要

得到一种真空以及真空破坏用的复合阀，该真空以及真空破坏用的复合阀通过采用简单且合理的设计构造，使整体紧凑化且简单化，同时也改善了真空用以及加压用的各流路的配置和流路长度的问题。将主阀部(1)和流路合流部(2)以及先导阀部(3)形成为同等的宽度，同时沿阀轴线(L)一列并且一体地结合，该主阀部(1)通过真空用以及加压用的两个阀部件(8)、(9)，单独开闭用于将真空压供给到负荷的真空流路(6)以及用于将真空破坏用的压力流体供给到负荷的加压流路(7)；该流路合流部(2)通过一个合流口(10)，将上述真空流路(6)和加压流路(7)连接到负荷；该先导阀部(3)通过两个先导阀(11)、(12)，单独对上述阀部件(8)、(9)进行开闭操作。

主权项

1.一种真空以及真空破坏用复合阀，其特征在于，具有主阀部、流路合流部以及先导阀部，该主阀部具有与真空源连接的真空口、与压力流体源连接的加压口、对连结所述真空口和合流口的真空流路进行开闭的真空侧阀部件、以及对连结所述加压口和合流口的加压流路进行开闭的加压侧阀部件；该流路合流部具有用于与负荷连接的上述合流口、分别位于所述真空流路中以及加压流路中的过滤室、可自由拆装地配设在各过滤室内的滤清器；所述先导阀部具有两个单独对所述主阀部的真空侧阀部件以及加压侧阀部件进行操作的先导阀，所述主阀部和流路合流部以及先导阀部被形成为同等的宽度，所述流路合流部结合在主阀部的轴线方向的一端侧，同时，所述先导阀部结合在另一端侧，据此，这些主阀部和流路合流部以及先导阀部沿所述轴线结合为一列。