| 摘要 |
<p>Методът намира приложение в електрониката и електротехниката за производство на интегрални схеми, магнитни и оптични продукти. С използването му се удължава експлоатационният срок на мишената, възстановяването й се извършва бързо и ефективно. Методът се състои в запълване на всяка износена част на мишената (20) с танталов прах, след което се прилага за кратък период мощен сноп лъчиста енергия, локално към запълнената част, при което частиците прах се свързват с частиците от износената повърхност (18). При преминаването на лъчистия сноп се извършва растерно сканиране на повърхността (18), докато прахът падне, при което се осъществява спояванена повърхностите с праховите частици до образуване на маса от свързани частици и до запълване на мишената (20).</p> |
