| 发明名称 | 等离子体反应室温控系统在线故障检测装置及其方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及晶片加工反应室的温度控制装置。本发明公开的等离子体反应室温控系统在线故障检测装置及其方法，包括：反应室、抽气腔及其对应的控制回路、每个控制回路有若干个加热器；在每个控制回路中还设有至少两个温度传感器，其中，温度传感器布置在偏离加热器对角线的位置。方法：1)当某个控制回路中的加热器损坏时，该控制回路的两个传感器反馈回来的温度值分别为t1和t2；2)计算t1和t2的差值的绝对值；3)当t1和t2的差值的绝对值大于一个阈值时，判定该控制回路的一个加热器损坏。 | ||
| 申请公布号 | CN1851848A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126268.0 | 申请日期 | 2005.12.02 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 孙岩 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);C23F4/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 练光东 |
| 主权项 | 1、一种等离子体反应室温控系统在线故障检测装置，包括两个反应室(1、2)、抽气腔(3)及其对应的控制回路(5)、每个控制回路(5)有若干个加热器(H)，其特征在于：在每个控制回路(5)中设有至少两个温度传感器(T)，其中，温度传感器(T)布置在偏离加热器(H)对角线位置。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||