物理气相沉积设备及其电极及其沉积环

摘要

一种物理气相沉积设备及其电极及其沉积环。该沉积环具有一沉积环本体、一沟槽以及一凸状结构。沉积环本体呈平板环状，并具有一第一表面。沟槽以及凸状结构均呈环状，形成于第一表面之上，凸状结构邻接沟槽，并靠近该沉积环本体的外侧。沟槽具有一第一侧壁、一第二侧壁以及一沟槽底部。第一侧壁的曲率半径大于第二侧壁的曲率半径。第二侧壁为完整连续的环状壁面。该沟槽底部位于第一侧壁以及第二侧壁之间。第一侧壁与沟槽底部之间并有一第一夹角，第一夹角介于65度至120度之间，较佳为90度。沟槽的深度介于1.2毫米至3毫米之间，较佳为2毫米。本发明可有效避免金属沉积物形成于晶圆背面，并可避免沟槽侧壁缺口位置的金属沉积。

主权项

1、一种沉积环，具有：一沉积环本体，呈平板环状，具有一第一表面；以及一沟槽，该沟槽呈环状，形成于该第一表面之上，并靠近该沉积环本体的内侧，其中，该沟槽的深度介于1.2毫米与3毫米之间。