发明名称 PHOTOLITHOGRAPHY EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
摘要
申请公布号 KR20060108334(A) 申请公布日期 2006.10.17
申请号 KR20050030502 申请日期 2005.04.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOON, MYUNG HO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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