适用于晶圆载台之接地线改质方法

摘要

一种适用于晶圆载台之接地线改质方法，在提供一含钨接地线之后，进行一退火处理步骤，将该含镍接地线放置于一非氧化态加热炉内，并施以高于晶圆制程温度例如850～1200℃之加热温度，以提升该含镍接地线之延展性，以适用于晶圆制程使用。