红外线影像感测器及其真空封装方法

摘要

一种红外线影像感测器及其真空封装方法。此红外线影像感测器包含有一陶瓷基座、一金属上盖、以及一红外线滤光片。陶瓷基座之上黏着一红外线影像感测器晶方，而金属上盖之内面则配置有吸气剂。红外线滤光片则系用来密封金属上盖之可透光开口。此真空封装方法则系在真空腔体中分别加热陶瓷基座、金属上盖、以及红外线滤光片，以活化吸气剂并将陶瓷基座、金属上盖与红外线滤光片黏焊在一起。