| 主权项 |
1.一种乾燥空气供给装置,于此乾燥空气供给装置中具备:分别可旋转地支持于支持架,同时具有承载吸附剂的构件的两个转子;设于前述各支持架的间隔构件,按照该间隔构件与对应该间隔构件的转子间的旋转位置关系,于该转子至少划分成藉前述吸附剂自通过此剂的空气除去水份及有机物的吸附区以及吸附水份与有机物进行劣化的前述吸附剂的再生的再生区;旋转二转子的共用驱动手段;导引自目的空间吸出的空气,使其依序通过二转子的吸附区,俾自该空气除去水份及有机物,此后,回到前述目的空间的循环路径;以及设有加热手段的排气路径,导引通过二转子的吸附区的一部份空气,使其通过前述加热手段,此后,通过二转子的再生区,俾水份及有机物自二转子的吸附剂脱离。2.一种处理装置,于此处理装置中具备:对初处理体施以预定处理的处理组件;搬送须藉前述处理组件处理的被处理体或前述处理组件处理过的被处理体的搬送空间;以及将除去水份及有机物的空气供至前述处理空间的乾燥空气供给装置;前述乾燥空气供给装置具有:分别可旋转地支持于支持架,同时具有承载吸附剂的构件的两个转子;设于前述各支持架的间隔构件17,按照该间隔构件与对应该间隔构件的转子间的旋转位置关系,于该转子至少划分成藉前述吸附剂自通过此剂的空气除去水份及有机物的吸附区以及吸附水份与有机物,进行劣化的前述吸附剂的再生的再生区;旋转二转子的共用驱动手段;导引自前述搬送空间吸出的空气,使其依序通过二转子的吸附区,俾自该空气除去水份及有机物,此后,回到前述搬送空间的循环路径;以及设有加热手段的排气路径,导引通过二转子的吸附区的一部份空气,使其通过前述加热手段,此后,通过二转子的再生区,俾水份及有机物自二转子的吸附剂脱离。3.如申请专利范围第2项所记载之处理装置,其中于前述循环路径,在前述二转子中的前段转子与前述二转子中的后段转子之间设置用来将通过前述前段转子的吸附区的空气冷却的冷却手段;对应前述后段转子的间隔构件形成于前述后段转,其除了前述吸附区及前述再生区之外,还划分出进行承载前述吸附剂的构件的冷却的冷却区;前述排气路径配置成,导引通过前述前段转子、前述冷却手段及前述后段转子的空气,使该空气在通过前述前段及后段转子的再生区及前述加热手段之前,通过前述后段转子的冷却区。4.如申请专利范围第2项所记载之处理装置,其中于前述循环路径的通过前述搬送空间的出口部份,设置用来除去自前述转子与前述间隔构件的接触部产生的粒子的过滤器。5.如申请专利范围第2项所记载之处理装置,其中前述驱动手段具有用来经由无端带分别旋转驱动前述二转子的两个带轮,前述二带轮的直径相异,俾前述二转子以相异速度旋转。6.如申请专利范围第2项所记载之处理装置,其中于前述排气路径设置用来对分别供至前述二转子的再生区的空气加热的共用加热手段。7.如申请专利范围第2项所记载之处理装置,其进一步具备:计测前述搬送空间的气氛的露点计;以及用来根据前述露点计的计测结果,控制前述乾燥空气供给装置,俾维持前述搬送空间于预定露点的乾燥空气控制部。8.如申请专利范围第2项所记载之处理装置,其中前述间隔构件具有对应转子端部的周缘部的环状周向构件,以及自前述周向构件的中心伸延至周向构件,将前述周向构件所围绕空间分成复数区的复数径向构件;于前述各径向构件安装压紧对置转子端面的可挠性鳍状密封构件,前述各密封构件配置成,使其前端朝对置转子的旋转方向弹性挠曲状态下,在对置转子的端面上滑动;藉此,防止通过各转子的不同区的空气相互混合。9.如申请专利范围第8项所记载之处理装置,其中于前述各间隔构件的周向构件设置压紧对置转子的端缘或外周面的环状衬垫构件,于各衬垫构件,在对向对应的转子的接触面上贴附滑片。10.如申请专利范围第2项所记载之处理装置,其中前述驱动手段配置成使前述二转子间歇旋转;前述间隔构件配置成,在对置转子旋转时,与此转子的端面分离,于旋转停止时,抵接转子的端面。11.如申请专利范围第2项所记载之处理装置,其中前述乾燥空气供给装置亦连接于其他处理装置的搬送空间。图式简单说明:第1图是概略显示具备本发明乾燥空气供给装置的处理装置构造的图面。第2图是第1图所示乾燥空气供给装置的转子的斜视图。第3图是显示第2图所示转子组装于支持架的状态的斜视图。第4图是概略显示第2图所示转子的间隔构件构造的斜视图。第5图是沿第4图所示间隔构件的A-A线的放大截面图。第6(a)图是沿第4图所示间隔构件的B-B线的放大剖视图,第6(b)图是显示第6(a)图所示实施形态的变形例的图面。第7图是概略显示第1图所示处理装置的变形实施形态构造的图面。第8图是概略显示第1图所示处理装置的变形实施形态构造的图面。第9图是显示第1至第6图所示乾燥空气供给装置的变形实施形态的分解斜视图。第10图是概略显示第9图所示乾燥空气供给装置的构造的剖视图。 |
