涂敷装置

摘要

一种涂敷装置，具有：储液罐(4)；载物台(5)，其保持基板(K)；涂敷头(6)，其具有开口部(621)，被架设在载物台的上方；输液泵，其将涂敷液导入涂敷头中；第一开闭阀(11)，其设置在输液泵的吸入口(C12)与储液罐之间，当进行吸入动作时成为打开状态，当进行排出动作时成为关闭状态；第二开闭阀(12)，其设置在输液泵的排出口(C13)与涂敷头之间，当进行排出动作时成为打开状态，当进行吸入动作时成为关闭状态；以及驱动装置(7)，其在使狭缝状的开口部与基板接近的状态下，使涂敷头与基板相对移动，输液泵具有膜状密封部件(F)，其密封泵体(C)与柱塞(P)之间的间隙(G)，可实现延长密封部件的寿命。

主权项

1.一种涂敷装置，具有：储液罐，其存储涂敷液；载物台，其保持作为涂敷对象的基板；涂敷头，其具有狭缝状的开口部，被架设在载物台的上方；输液泵，其通过使吸入动作和排出动作交替进行，从而将储液罐内的涂敷液导入涂敷头中；第一开闭阀，其设置在输液泵的吸入口与储液罐之间，当进行上述吸入动作时成为打开状态，当进行上述排出动作时成为关闭状态；第二开闭阀，其设置在输液泵的排出口与涂敷头之间，当进行上述排出动作时成为打开状态，当进行上述吸入动作时成为关闭状态；以及驱动装置，其在使狭缝状的开口部与基板接近的状态下，使涂敷头与基板相对移动，其特征在于，上述输液泵具有：泵体，其具有吸入口与排出口；柱塞，其设置为可沿泵体的轴线方向在泵体内部往复移动；膜状密封部件，其用于密封泵体与柱塞之间的间隙；以及柱塞驱动装置，其用于驱动柱塞。