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发明名称 Micro mirror unit including mirror substrate and wiring substrate spaced by conductive spacer
摘要
申请公布号 EP1369730(B1) 申请公布日期 2006.10.04
申请号 EP20030000825 申请日期 2003.01.15
申请人 FUJITSU LIMITED;FUJITSU MEDIA DEVICES LIMITED 发明人 SONEDA, HIROMITSU;UEDA, SATOCHI;OKUDA, HISAO;SAWAKI, IPPEI;TSUBOI, OSAMU;MIZUNO, YOSHIHIRO;KOUMA, NORINAO;NAKAMURA, YOSHITAKA;YAMAGISHI, FUMIO
分类号 G02B26/08;B81B3/00;B81B7/04;G02B6/35;G02B6/42;H04Q3/52 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
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