低介电系数材质层的制造方法

摘要

一种低介电系数材质层的制造方法，适用于一之上。系将前驱物气体导入一 积制程反应室中以进介电系数材质的 积。待低介电系数材质层完成 后，保留至少一适当前驱物气体之气体源，以此前驱体所形成之电浆对低介电系数材质层进行后处理。