装载晶圆之运送车

摘要

一种装载晶圆之运送车，主要包括一底板、一框架、一活动把手、多数个车轮、一置晶室以及至少一避震器。其中，该置晶室可藉由避震器而平置于底板之上表面，以达到避震的目的。此外，此运送车更可加装一悬吊器，以使置晶室悬吊于框架上，进而达到避震的功效。另外，此运送车更可加装一煞车器及／或一限速器，而煞车器例如藉由活动把手之操控而作动，以达到锁固或解除煞车之功效，且限速器可侦测车轮的转速是否超过一预定值而作动，以降低车速，进而降低晶圆在运送过程中之损坏率。