| 摘要 |
<p>Composant micromécanique comprenant un substrat semi-conducteur (1) d'un premier type de dopage (p),une cavité (11) dans le substrat semi-conducteur (1) etune membrane prévue à la surface du substrat semi-conducteur (1) pour fermer la cavité (11).La membrane (30 ; 30a ; 30d) comporte une couche poreuse oxydée (MP') suspendue à une zone de cadre annulaire (2), du second type de dopage (n).</p> |
