发明名称 APPARATUS HAVING THE DUAL HEALING WIRE FOR HEATING THE GAS
摘要
申请公布号 KR100629572(B1) 申请公布日期 2006.09.21
申请号 KR20050061547 申请日期 2005.07.08
申请人 TPI CO., LTD. 发明人 KIM, CHANG KYO
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址
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