酸发生剂及辐射敏感树脂组合物

摘要

提供了一种含有下式(I)的结构的新的光致酸发生剂，∴其中R表示具有小于或等于50％的氟含量的一价有机基团、硝基、氰基或氢原子，Z¹和Z²各自是氟原子或直链或支链有1-10个碳原子的全氟烷基。当用于化学放大辐射敏感树脂组合物时，光致酸发生剂表现出高透明度、较高的可燃性，和没有生物累积，产生的酸表现出高酸性、高沸点、在树脂涂层中适度的扩散长度以及对掩模图形密度的低依赖性。

主权项

1、一种酸发生剂，其为下式(1)所示的鎓磺酸盐化合物其中R表示具有小于或等于50％的氟含量的一价有机基团、硝基或氰基，Z¹和Z²各自是氟原子或直链或支链有1-10个碳原子的全氟烷基，M⁺是一价鎓阳离子。