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经营范围
发明名称
DRY PARTICLE CLEANER FOR SEMICONDUCTOR AND LCD PROCESS
摘要
申请公布号
KR20060097951(A)
申请公布日期
2006.09.18
申请号
KR20050018949
申请日期
2005.03.08
申请人
DAEMYUNG ENGINEERING CO., LTD.
发明人
OH, SUNG HOON;MOON, YOUNG WOONG
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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