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发明名称 Method for forming aluminum silicate thin film
摘要
申请公布号 KR100624391(B1) 申请公布日期 2006.09.18
申请号 KR20040103662 申请日期 2004.12.09
申请人 发明人
分类号 C23C14/22;C23C14/24 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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