| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer kontrollierten Mischung aus organischen Dämpfen und Inertgas |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60029670(D1) |
申请公布日期 |
2006.09.14 |
| 申请号 |
DE20006029670 |
申请日期 |
2000.03.09 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
NGUYEN, SON T.;HENDRICKSON, SCOTT |
| 分类号 |
B01J4/02;H01L21/00;C23C16/40;C23C16/448;H01L21/31;H01L21/768;H01L23/522 |
主分类号 |
B01J4/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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