| 发明名称 |
VERWENDUNG VON POLYIMID FÜR HAFTSCHICHTEN, LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROBAUTEILEN SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON VERBUNDMATERIAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE50013279(D1) |
申请公布日期 |
2006.09.14 |
| 申请号 |
DE20005013279 |
申请日期 |
2000.11.17 |
| 申请人 |
INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH |
发明人 |
SCHMITZ, FELIX;NIENHAUS, MATTHIAS |
| 分类号 |
G03F7/038;G03F7/11;B81C1/00;C09J179/08;G03F7/095;G03F7/40;H01L21/768 |
主分类号 |
G03F7/038 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
