发明名称 MICROMACHINED STRUCTURES COUPLED FOR RELATIVE ROTATION BY TORSIONAL FLEXURE HINGES
摘要
申请公布号 KR100620341(B1) 申请公布日期 2006.09.13
申请号 KR20017002445 申请日期 2001.02.26
申请人 发明人
分类号 G01C19/00 主分类号 G01C19/00
代理机构 代理人
主权项
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