输出效率控制装置，投影式显示设备，红外传感器和非接触温度计

摘要

微透镜3a和3b被形成在一个透明基底的一个第一表面上，调制入射光光量的一个输出效率控制装置2被设置在第一表面对面的一个第二表面上。入射光4被倾斜于微透镜3a的光轴入射，以聚焦到输出效率控制装置2上。输出效率控制装置2调制入射光的光量，并通过微透镜3b输出作为射光5入射光的光量，并通过微透镜3d输出作为出射光5的光。由于这样的结构，输出效率控制装置2的尺寸与光束的直径和微透镜的孔径相比可以减少。

主权项

1、一种调制入射光的光量并输出经调制的光的输出效率控制装置，它包括：一个含有一个起着一个第一电极的作用的部分的平板；一个形成在平板上的间隔层；以及一个由多个梁组成的光栅，这些梁相互倾斜，它们各自含有起着第二电极的作用的部分，它们的两端都支架在间隔层上，其中光栅和平板之间的距离通过调节施加在第一电极和第二电极之间的电压被改变，由此光的输出效率得到控制。