精细图案的制作装置

摘要

本发明涉及一种精细图案的制作装置。它包括带有一定处理空间的箱体；设置于所述箱体内部，用于支撑涂覆有感光有机膜的衬底的支撑台；与所述支撑台相隔一段距离，用于在衬底的有机膜上印刻预处理图案，以区分蚀刻及非蚀刻区域的模板；用于驱动所述支撑台，使所述支撑台与模板相接触的驱动装置。

主权项

1、一种精细图案的制作装置，其特征在于：它包括带有一定处理空间的箱体；利用液体浮力支撑涂覆有感光有机膜的衬底的支撑台；与所述支撑台相隔一定距离，在衬底的有机膜上印刻用于区分蚀刻及非蚀刻区域的预处理图案的模板；以及用于将所述支撑台移向所述模板，使该模板上的图案形成于所述衬底的有机膜上的驱动装置。