发明名称 Chamber type burn-in test method
摘要
申请公布号 KR100620285(B1) 申请公布日期 2006.09.07
申请号 KR20000039798 申请日期 2000.07.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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