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经营范围
发明名称
等离子处理装置感受器
摘要
使用状态参考图中K为本外观设计。
申请公布号
CN3558786D
申请公布日期
2006.09.06
申请号
CN200530121246.6
申请日期
2005.08.25
申请人
株式会社日立高新技术
发明人
内野武男;七田弘之;矶崎真一;坪根恒彦;牧野昭孝
分类号
15-99
主分类号
15-99
代理机构
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人
张敬强
主权项
地址
日本东京都
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