发明名称 等离子处理装置感受器
摘要 使用状态参考图中K为本外观设计。
申请公布号 CN3558786D 申请公布日期 2006.09.06
申请号 CN200530121246.6 申请日期 2005.08.25
申请人 株式会社日立高新技术 发明人 内野武男;七田弘之;矶崎真一;坪根恒彦;牧野昭孝
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 张敬强
主权项
地址 日本东京都