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发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号
EP1695370(A1)
申请公布日期
2006.08.30
申请号
EP20040806048
申请日期
2004.12.14
申请人
OXFORD INSTRUMENTS PLASMA TECHNOLOGY LIMITED
发明人
SINGH, NITYALENDRA;CROAD, ROGER, JAMES, WILSHIRE
分类号
H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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