薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

摘要

本发明提供了一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法。该方法包括：在基底上形成栅极线；在栅极线上形成栅极绝缘层；在栅极绝缘层上形成半导体层；在半导体层上形成数据线和漏极；在数据线和漏极上沉积钝化层；在钝化层上形成包括第一部分和比第一部分薄的第二部分的光阻剂；将光阻剂作为掩模蚀刻钝化层，从而至少部分地暴露漏极的一部分；去除光阻剂的第二部分；沉积导电膜；去除光阻剂，从而在漏极的暴露部分上形成像素电极。

主权项

1、一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法，所述方法包括：在基底上形成栅极线；在所述栅极线上形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层上形成半导体层；在所述半导体层上形成数据线和漏极；在所述数据线和所述漏极上沉积钝化层；在所述钝化层上形成光阻剂；将所述光阻剂作为掩模来蚀刻所述钝化层和所述第一绝缘层，以暴露所述漏极的部分和所述基底的至少一部分；部分地去除所述漏极的暴露部分；沉积导电膜；去除所述光阻剂，以形成与所述漏极的所述暴露部分连接的像素电极。