| 发明名称 |
SYSTEM FOR MODIFYING SMALL STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060092786(A) |
申请公布日期 |
2006.08.23 |
| 申请号 |
KR20050029849 |
申请日期 |
2005.04.11 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
GU GEORGE Y.;BASSOM NEIL J.;GANNON THOMAS J.;LIU KUN |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/3205;H01L21/20;H01L21/768;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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