发明名称 双(叔丁胺基)矽烷的生产和纯化方法
摘要 本发明提供一种合成胺基矽烷化合物例如双(叔丁胺基)矽烷的方法。在本发明的一个方面,提供一种生产双(叔丁胺基)矽烷的方法,其中包括使超过化学计算量的叔丁胺与二氯矽烷在无水条件下充分反应,生成包括双(叔丁胺基)矽烷产品的液体。
申请公布号 TWI260326 申请公布日期 2006.08.21
申请号 TW093100625 申请日期 2004.01.09
申请人 气体产品及化学品股份公司 发明人 崔彦彭;汤姆斯.艾维.黑尔勒;劳爵夫.K.阿加渥尔;拉维.库马.拉克斯曼
分类号 C07F7/08 主分类号 C07F7/08
代理机构 代理人 陈展俊 台北市大安区和平东路2段203号4楼;林圣富 台北市大安区和平东路2段203号4楼
主权项 1.一种生产胺基矽烷的方法,该方法包括使至少一种超过化学计算量的胺,与至少一种具有化学式R3nSiCl4-n的氯矽烷,在无水条件下充分反应,生成包括胺基矽烷产品和胺盐酸盐的液体,所述的胺选自具有化学式Rl2NH的仲胺、具有化学式R2NH2的伯胺、或它们的组合,式中R1和R2各自可以分别是具有1-20个碳原子的直链烷基、环烷基、或支链烷基;R3可以是氢原子、胺基、或具有1-20个碳原子的直链烷基、环烷基、或支链烷基;和n是1-3的数。2.如申请专利范围第1项的方法,还包括:使液体通过过滤器,提供胺盐酸盐滤饼和滤液;和纯化该滤液,提供胺基矽烷产品。3.如申请专利范围第2项的方法,其还包括用胺洗涤胺盐酸盐滤饼。4.如申请专利范围第3项的方法,其中反应步骤中的至少一部分胺是胺洗涤液。5.如申请专利范围第2项的方法,其中纯化步骤是至少一种选自蒸馏、蒸发、膜分离、萃取、和它们的组合所组成族群的方法。6.如申请专利范围第5项的方法,其中纯化方法是蒸馏。7.如申请专利范围第6项的方法,其中蒸馏是在压力40-100托(torr)下进行的。8.如申请专利范围第7项的方法,其中蒸馏是在温度70-90℃下进行的。9.如申请专利范围第1项的方法,其中胺是仲胺。10.如申请专利范围第1项的方法,其中胺是伯胺。11.如申请专利范围第10项的方法,其中胺是叔丁胺。12.一种生产双(叔丁胺基)矽烷产品的方法,该方法包括:使叔丁胺与二氯矽烷在无水条件下充分反应,生成包括双(叔丁胺基)矽烷产品和叔丁胺盐酸盐的液体;使该液体通过过滤器,提供叔丁胺盐酸盐滤饼和滤液;和纯化该滤液,提供双(叔丁胺基)矽烷产品。13.一种生产氯化物含量≦15 ppm的双(叔丁胺基)矽烷产品的方法,该方法包括:使叔丁胺与二氯矽烷在无水条件下充分反应,生成包括双(叔丁胺基)矽烷产品和叔丁胺盐酸盐的液体;使该液体通过过滤器,提供叔丁胺盐酸盐滤饼和滤液;用叔丁胺洗涤叔丁胺盐酸盐滤饼,其中使用至少一部分叔丁胺洗涤液作为反应步骤的至少一部分叔丁胺;和纯化该滤液,提供双(叔丁胺基)矽烷产品。14.如申请专利范围第13项的方法,其中纯化步骤是至少一种选自蒸馏、蒸发、膜分离、萃取、和它们的组合所组成族群的方法。15.如申请专利范围第14项的方法,其中纯化方法是蒸馏。16.如申请专利范围第15项的方法,其中蒸馏是在压力40-100(torr)托下进行的。17.如申请专利范围第16项的方法,其中蒸馏是在温度70-90℃下进行的。18.如申请专利范围第13项的方法,其中反应步骤中的液体还包括叔丁胺。19.如申请专利范围第18项的方法,其中采用蒸发方法从该液体中除去叔丁胺。20.一种生产双(叔丁胺基)矽烷产品的方法,其中包括使超过化学计算量的叔丁胺与二氯矽烷在无水条件下充分反应,生成包括双(叔丁胺基)矽烷产品的液体。图式简单说明:图1提供对本发明一个实施方案中所采用的系统的说明。
地址 美国