矽晶圆抛光浆液之制备方法

摘要

本发明有关一种矽晶圆抛光浆液之制备方法，包括在烷醇胺作为安定剂存在下，使硷金属矽酸盐在加热回流及缓慢搅拌下进行二氧化矽之水热成长反应而制得。本发明又有关一种使用由本发明方法制备之该浆液使矽晶圆抛光之方法。

主权项

1.一种矽晶圆抛光浆液之制备方法,包括在烷醇胺 作为安定剂存在下,使硷金属矽酸盐在加热回流及 缓慢搅拌下进行二氧化矽之水热成长反应而制得 抛光浆液;其中该抛光浆液中烷醇胺含量为0.1重量 %至5.0重量%,固含量为1重量%至50重量%,粒径分布为5 至200nm,pH为9.0至13.0,钠离子及钾离子含量分别为10 ppm以下。 2.如申请专利范围第1项之制备方法,其中该烷醇胺 系选自单乙醇胺(monoethanolamine)、二乙醇胺( diethanolamine)、三乙醇胺(triethanolamine)及/或其组成 物所成之组群。 3.如申请专利范围第2项之制备方法,其中该烷醇胺 为单乙醇胺。 4.如申请专利范围第1项之制备方法,其中该浆液固 含量为10重量%至30重量%。 5.如申请专利范围第1项之制备方法,其中该浆液粒 径分布为30~100nm。 6.如申请专利范围第1项之制备方法,其中该浆液PH 为10.0~12.0。