发明名称 LOW TEMPERATURE DRYING APPARATUS USING CAPILLARY TUBE
摘要
申请公布号 KR20060091196(A) 申请公布日期 2006.08.18
申请号 KR20050012088 申请日期 2005.02.14
申请人 LS CABLE LTD. 发明人 CHANG, KYU HO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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