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发明名称 Züchtungsverfahren für Nitridhalbleiter-Epitaxieschichten
摘要
申请公布号 DE112004001230(T5) 申请公布日期 2006.08.17
申请号 DE200411001230 申请日期 2004.07.07
申请人 SEOUL NATIONAL UNIVERSITY INDUSTRY FOUNDATION 发明人 YOON, EUIJOON;NA, HYUNSEOK
分类号 H01L33/00;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/762;H01S5/00;H01S5/30 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
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